화성시에 세계적 반도체 장비기업 또 들어선다

[양해용 기자]=반도체 ALD(원자층증착) 장비 세계 1위 기업인 네덜란드 ASM이 화성시 영천동에 ‘화성 제2제조연구혁신센터’를 설립한다.

화성시에 따르면 ASM코리아는 기존 시설 바로 옆 7,401㎡(약 2,240평) 규모 부지에 1,350억원을 올해 투자해 2025년까지 제조와 연구시설 등을 확충한다. 제2제조연구혁신센터 설립으로 200명 이상의 고용창출을 기대하고 있으며, 2030년까지 지속적으로 투자를 늘려간다는 계획이다. 기공식은 24일(수) 영천동 ASM코리아 본사 사옥에서 진행되었다.

ASM은 ASMI의 새로운 이름으로 1968년 네덜란드 알메르에서 설립되어 전세계 15개국에 4,300여명의 직원과 반도체 장비분야 특허 2,619개를 보유하고 있다. 또한 2022년 총 24억 유로(약 3조 5,000억원) 매출을 달성한 글로벌 10위 반도체 장비기업으로 원자층 증착(ALD) 장비 세계 1위 기업이다.

원자층 증착 장비는 웨이퍼에 원자 단위 깊이 산화막을 증착하는 장비로 ASM은 네덜란드 노광 장비 글로벌 기업 ASML의 모태가 된 회사다.

ALD 원천기술은 KAIST가 최초로 개발하여 국내기업 지니텍이 상용화하였고, 지니텍을 ASM이 투자･인수하며 글로벌로 상용화한 성공모델의 우수한 사례이다. 특히, 반도체 장비 부품 국산화 비율을 70%까지 끌어올렸으며, ASM의 해외법인 중 국내 법인만이 제조뿐만 아니라 연구개발을 함께 운영하는 유일한 법인으로 국내 반도체 기업과 상생협력을 지속해오고 있다.

특히 삼성전자가 2nm(나노미터, 1nm=10억분의 1m) 미세 공정 진입을 위한 개발에 나서고 있는 것으로 알려진 가운데, 그 핵심기술을 보유하고 있는 기업이 바로 ASM인 것으로 알려졌다.

화성시에는 세계 최대 메모리 반도체 기업인 삼성전자 화성사업장과 반도체 업계 ‘슈퍼을’로 불리는 ASML이 들어서 있다. ASM 화성제2제조연구혁신센터가 건립되면 ASML과 도쿄일렉트론코리아에 이어 글로벌 10대 반도체 장비 제조회사 3곳이 입지해 명실상부 경기 남부 반도체 클러스터의 핵심 도시가 될 것으로 기대하고 있다.

ASM의 제2제조연구혁신센터 투자 유치를 미국과 싱가포르 등 여러 국가에서 다양한 인센티브 제공 등을 약속했지만, ASM은 입지 조건과 여러 협력사들과의 시너지 효과 극대화를 할 수 있는 화성시로 최종 결정했다.

벤자민 로(Benjamin Loh) ASM CEO는 “화성시는 탁월한 근무환경에 따른 핵심인력 채용이 용이하고, 고객사와 협력사들 간의 시너지 효과를 극대화 할 수 있어 투자를 결정했다”며 지역 반도체 산업 발전을 위해 적극 협력할 것이라고 말했다.

정명근 화성시장은 “ASM 화성제2제조연구혁신센터가 준공되면 경기남부 반도체 클러스터의 핵심 도시로 자리매김하고 화성시 관내 대학들과 연계해 반도체 인력 양성에도 큰 도움이 될 것”이라며 기대감을 드러냈다.

금일 기공식에는 김동연 경기도지사, 정명근 화성시장, 폴린 반 더 미어 모어(Pauline van der Meer Mohr) 에이에스엠 이사회 의장, 벤자민 로(Benjamin Loh) 에이에스엠 최고경영자(CEO), 김완기 산업통상자원부 무역투자실장, 신미숙 경기도의회 경제노동위원, 김경희 화성시의회 의장, 김용길 에이에스엠엘코리아 회장, 요아나 도너바르트(Joanne Doornewaard) 주한네덜란드 대사, 김태형 인베스트 코리아 대표 등 150여 명이 함께했다.

한편, 폴린 반 더 미어 모어 이사회 의장, 벤자민 로 CEO는 기공식 이후 화성시에 이공계 인재 양성을 위해 써달라며 장학금 1억원을 전달했다.